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电子工业用气体:5N氯化氢
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《电子工业用气体:5N氯化氢(GB/T 24469-2009)》于2009年11月**版、**次印刷。本标准根据GB/T14602-1993《电子工业用气体氯化氢》同类产品标准,结合原料、生产工艺特点及半导体工艺对氯化氢产品的新要求而制定。由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203)提出并归口。并由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局-中国国家标准化管理委员会于2009年10月发布,并于2009年12月实施。
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《电子工业用气体:5N氯化氢(GB/T 24469-2009)》于2009年11月**版、**次印刷。本标准根据GB/T14602-1993《电子工业用气体氯化氢》同类产品标准,结合原料、生产工艺特点及半导体工艺对氯化氢产品的新要求而制定。由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203)提出并归口。并由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局-中国国家标准化管理委员会于2009年10月发布,并于2009年12月实施。
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